精密仪器 INA 滑块选型:微型型号安装与运行案例

admin INA滑轨 26

以其高的精度、可靠的性质的INA的滑块早已成为各个领域的“关键的传动部件”而广泛的应用于了机械、电机、电器、仪表等各种工业领域中。其在机械、自动化、航空航天等领域的广泛的应用也更是充分地体现了其高效的载体作用.。以微型的INA滑块RUE15-FE的典型的代表为例,其不仅可达12.5kN的高的额定动载荷,18.2kN的高的静态载荷,更可将负载的范围扩大到500N至3000N的微型的设备,如半导体的检测仪、光学的显微镜的载物台等各类微型的精密仪器的载荷台等场所都充分的发挥了其高的载荷容量和长的使用寿命等优点等.。通过对INA滚柱的精巧的结构的设计,不仅能满足这一类设备的对高的定位的重复性要求的达到了±0.002mm的高精度的要求,而且对其在0.1m/s至0.5m/s的较广的速度的控制也都能较好的满足所的需要。

选型核心参数匹配

只有对“三大”的各个指标的精准的对接把握好“三大”的“三位一体”,才能真正地将“三大”的各个指标的优势都能相得益彰,将“三大”的“三位一体”真正的实现起来。

由其微小的尺寸所决定的,其主要只能承受的就是沿着轴向的那些轻轻的外力与较大的径向的外力了.。借助对其在Z轴的移动模块的合理的设计既能承受200N的径向力,又能将50N的轴向力有效的分散的传递给整体的Z轴,从而有效的避免了局部的变形,将其作为主力的承重部分,将选用的预紧力等级为V3的RUE15-FE型的滚柱的保持架的设计。

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考虑到对纳米级的精准定位的迫切的需求,我们更倾向地将G2的精度等的滑块的选择作为我们的首选的方案。借助对微小的运动的精确的把握和控制,才能真正地将其发挥出更大而更好的作用.。该型号的广泛应用所研制的激光干涉仪的定位误差即从原来的±0.005mm降至±0.0015mm之际,基本也就满足了目前的亚微米级的加工的需求。

如对工作在较为潮湿的环境中所提出的要求,我们都可以将传统的滑块均一一选用不锈钢材质的,如RUE15-FE-SS等,对于海洋的监测设备等都可采用这样的滑块来提高其在恶劣的环境中的工作寿命。

安装工艺关键控制点

将微型的滑块都一一安装好自然就得到了较好的全局的优化效果,其安装的关键在于对整个系统的全局的优化调控上,具体的实现则需要严格遵循三阶段的流程:将微型的滑块都一一安装好自然就得到了较好的全局的优化效果,其安装的关键在于对整个系统的全局的优化调控上,关键的点在于把微型的滑块都一一的安装好。

凭借对塑料的精确的预定位,将其作为预装配的先导,初步地将其与后续的各个零部件之间的位置关系做了初步的定位和匹配。基于对半导体的封装设备的巧妙的设计,在其安装的过程中将滑块与真实的导轨的倒角端对齐不仅能有效的避免了滚柱的脱落,而且也大大地提高了了我们的安装的效率达40%以上。

通过对扭矩的三次递增的0.6Nm的对角线锁紧的工艺将其安装的更加牢固的将螺栓锁紧了下来。依托于对某一特定的显微镜的载物台的安装的案例的具体分析就可使得此方法的可行性大大提高,且可将导轨的平行度的误差基本控制在0.003mm/m以内。

经过一系列的动态调试后,更后的安装工作也得以圆满完成,我们便将其投入了空载的运行测试中,并通过了激光的干涉仪对其所的滑块的运行直线度的检测等一系列的严格的试验。借助对医疗影像设备的细致的调试调整,如对滑块的侧向定位螺钉的微妙的调整等,就能将其原有的直线度的误差从更初的0.008mm/m大大地优化的将其降低至了0.004mm/m以上。

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运行维护优化方案

只有对长期的运行的系统建立了三重的维护机制才能真正地保证其长期的稳定运作

通过科学的对润滑周期的管理,如每200小时对润滑系统的微量补充润滑脂等对某精密的加工中心的采用了自动的润滑系统就使得该机的滑块的寿命从原来的18个月提高到了32个月。

凭借对滑块的安装加装了高精度的加速度传感器,对其实时的振动频谱的监测分析,有效的为机器的运行提供了一个可靠的振动监测体系。通过对该方案的紧密的结合,我们便能够在设备的正常工作周期的前2周就对其所对应的0.5g的幅值的异常的振动的产生给予了及时的发现,从而为避免了该设备的故障提供了有利的保障。

通过对长期运行的设备的“磨损补偿”设计中可将可调式的滑块设计用来对其的磨损的预先的进行相应的补偿。采用对载物台的精微的调节手段,尤其是对预紧力的恰到好处的调节,就可以把由于长期的使用而造成的0.02mm的微小的滑动量补偿了过去,从而使载物台的原有的定位精度得以恢复。

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典型应用案例解析

依托于对X轴的移动模块的RUE15-FE滑块的高效的应用,我们不仅将传统的三大技术的局限性一一突破了,而且也大大地提高了其在半导体的封装设备中的应用的价值和深度。

随着对技术的不断优化,我们的产品也已从原先的0.3m/s的蜗牛般的速度,取得了明显的提高,已达0.45m/s,而且单片的封装周期也相对原先的15%有所缩短。

采用对动态的1500N的负载的优化手段,使得滑块的温升均可控制在3℃以内从而有效的避免了由热变形对其的影响。

采用对密封结构的不断的改进和对润滑脂的合理的节约手段,已将润滑脂的消耗量降低了60%,同时将原有的1500小时的维修周期延长至了2500小时。

依托于对该案例的深入挖掘不仅充分验证了微型INA滑块在精密设备中的技术的可行性,而且为同类的设备的选型提供了较为可靠的量化的参考标准。


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